超纯氦气净化器是采用复合型贵金属合金净化材料，后与各种活性气体形成稳定的化合物或固溶体，使气体达到目的净化的目的。
处理气体介质：氢气、氮气、氩气\氦气及其他惰性气体
特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。
适用范围：微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。
产品气流量：1-3000Nm3/h
产品纯度：99.9995-99.9999999%
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